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发明名称 Apparatus for fabicating semiconductor device and method for fabicating semiconductor device using the same
摘要
申请公布号 KR100743185(B1) 申请公布日期 2007.07.27
申请号 KR20050124652 申请日期 2005.12.16
申请人 发明人
分类号 H01L21/687;H01L21/302 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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