| 摘要 |
<p>Полезная модель относится к области машиностроения, а именно к нанотехнологическим устройствам перемещений. В основу полезной модели положена техническая задача обеспечить выполнение нанотехнологических процессов на ювенильной (абсолютно чистой) поверхности подложки. Поставленная техническая задача решается тем, что в нанотехнологическом устройстве перемещений, содержащее пьезопривод, жестко связанный с неподвижным основанием, согласно предложенной полезной модели, на торце основного пьезопривода установлены три дополнительных пьезопривода, на торце каждого дополнительного пьезопривода жестко закреплен зонд, один из зондов выполнен из платиново-иридиевого сплава, а два других - из вольфрама, все три зонда расположены на одной линии. При этом расстояния между рабочими концами зондов равны 0,1-0,2 мм. Применение предполагаемого нанотехнологического устройства обеспечит возможность выполнения нанотехнологических процессов на ювенильной (абсолютно чистой) поверхности подложки.</p> |
