| 摘要 |
<p>Es wird ein auf einem Basischip aufgebauter MEMS-Sensor mit kapazitiver Arbeitsweise vorgeschlagen, der einen strukturierten auf dem Basischip aufgebrachten Schichtaufbau aufweist. Im Schichtaufbau ist eine Ausnehmung erzeugt, in der die bewegliche Elektrode, beispielsweise eine Membran angeordnet ist. Die Ausnehmung wird von einer Deckschicht überspannt, die um die Ausnehmung herum auf dem Schichtaufbau aufliegt und die Rückelektrode umfasst.</p> |
