发明名称 VERBESSERUNG DER STABILITÄT VON MIT IONENSTRAHLEN ERZEUGTEN ORIENTIERUNGSSCHICHTEN DURCH OBERFLÄCHENMODIFIKATIONEN
摘要
申请公布号 DE60128953(D1) 申请公布日期 2007.07.26
申请号 DE20016028953 申请日期 2001.11.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 CALLEGARI, ALESSANDRO C.;CHAUDHARI, PRAVEEN;DOANY, FUAD E.;DOYLE, JAMES P.;GALLIGAN, EILEEN A.;HOUGHAM, GARETH G.;GLOWNIA, JAMES H.;LACEY, JAMES A.;LIEN, SHUI-CHIH;LU, MINHAU;ROSENBLUTH, ALAN E.;YANG, KEI-HSIUNG
分类号 G02F1/1337;B01J19/12;C01B31/02;C23C14/48;C23C14/58 主分类号 G02F1/1337
代理机构 代理人
主权项
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