发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Filmabscheidung |
摘要 |
|
申请公布号 |
DE69936274(D1) |
申请公布日期 |
2007.07.26 |
申请号 |
DE19996036274 |
申请日期 |
1999.04.01 |
申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO. LTD. |
发明人 |
MIKAMI, TAKASHI;MURAKAMI, HIROSHI |
分类号 |
C23C14/22;C23C14/32;C23C16/48;C23C16/50;C23C16/505;C23C16/513;H01J37/12;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/205 |
主分类号 |
C23C14/22 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|