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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING NITRIDE SYSTEM III-V COMPOUND LAYER AND METHOD OF MANUFACTURING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR100743209(B1) 申请公布日期 2007.07.26
申请号 KR20000074071 申请日期 2000.12.07
申请人 发明人
分类号 H01S5/343;C30B25/02;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L33/32 主分类号 H01S5/343
代理机构 代理人
主权项
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