光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器

摘要

本发明的目的在于提供在降低驱动电压的同时具有优越的光学特性的光学设备、波长可变滤波器、波长可变滤波器模块及光谱分析器。本发明的光学设备(1)具备隔着间隔与可动部(21)的固定反射膜(35)侧的面对置且固定地设置在固定部上的第一电极(33)、和隔着间隔与可动部(21)的位于固定反射膜(35)相反侧的面对置且相对固定部固定地设置的第二电极(43)，第一电极(33)及第二电极(43)中，一电极作为用于检测与可动部(21)之间的静电电容的检测电极而发挥功能，另一电极作为用于在与可动部(21)之间产生电位差，由此在它们之间产生静电引力，使可动部(21)的位置及/或姿势变化的驱动电极而发挥功能。

主权项

1.一种光学设备，其特征在于，具备：具有第一光反射部的固定部；具有隔着间隔与所述第一光反射部对置的第二光反射部，且可以相对所述固定部位移从而改变所述第一光反射部和所述第二光反射部之间距离的可动部；隔着间隔与所述可动部的所述第一光反射部侧的面对置，且固定地设置在所述固定部上的第一电极；隔着间隔与所述可动部的位于所述第一光反射部相反侧的面对置，且相对所述固定部固定地设置的第二电极，所述第一电极及所述第二电极中，一电极作为用于检测与所述可动部之间的静电电容的检测电极而发挥功能，另一电极作为用于在与所述可动部之间产生电位差，由此在它们之间产生静电引力，使所述可动部的位置及/或姿势变化的驱动电极而发挥功能，在所述第一光反射部和所述第二光反射部之间反射进行光反射，产生干涉，从而可以向外部射出与它们之间距离对应的波长的光。