| 发明名称 | 基板运送装置、基板运送方法以及曝光装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种用于对形成有图案的基板进行运送的基板运送装置、基板运送方法以及具有基板运送装置的曝光装置，其目的是在基板使用时能够轻松、确实地防止保护罩的内面受到污染。此基板运送装置为将形成有图案的基板进行运送的基板运送装置，并在不使用前述基板时将前述基板在利用保护罩进行保护的状态下进行运送的基板运送装置，其中，具有当使用前述基板时覆盖前述保护罩的内面的罩壳保护装置。 | ||
| 申请公布号 | CN101006573A | 申请公布日期 | 2007.07.25 |
| 申请号 | CN200580027964.4 | 申请日期 | 2005.10.21 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | 平柳德行 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01);H01L21/673(2006.01) | 主分类号 | H01L21/677(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 陈亮 |
| 主权项 | 1.一种基板运送装置，为将形成有一图案的一基板进行运送的该基板运送装置，并在不使用该基板时将该基板在利用一保护罩进行保护的状态下进行运送的该基板运送装置，其特征在于：具有当使用前述基板时覆盖该保护罩内面的一罩壳保护装置。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||