| 发明名称 | 陶瓷膜制造方法以及陶瓷膜制造装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种可低温成膜的陶瓷膜制造方法以及陶瓷膜制造装置。本发明涉及的陶瓷膜制造方法包括：在基体的上方形成材料层的步骤；将含有水蒸气及氧气的气体导入氧化气体制造部(30)的步骤；以及将氧化气体制造部(30)内的上述气体加热并提供到氧化炉(20)内、使材料层氧化的步骤。 | ||
| 申请公布号 | CN101005032A | 申请公布日期 | 2007.07.25 |
| 申请号 | CN200610168229.1 | 申请日期 | 2006.12.26 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 木岛健 |
| 分类号 | H01L21/316(2006.01);H01L21/02(2006.01);C23C8/10(2006.01) | 主分类号 | H01L21/316(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 余刚 |
| 主权项 | 1.一种陶瓷膜制造方法，其中，包括：在基体的上方形成材料层的步骤；将含有水蒸气及氧气的气体导入氧化气体制造部的步骤；以及将所述氧化气体制造部内的所述气体加热后，提供到氧化炉内，使所述材料层氧化的步骤。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||