| 发明名称 | 硬质保护膜 | ||
| 摘要 | 此处公开了一种硬质保护膜，由多个层构成，其特征在于，包括多于1层的第一层以及多于1层的第二层，其中所述第一层具有下式(1a)表示的组成并且其厚度为1至80nm，所述第二层具有下式(2a)表示的组成并且其厚度为1至80nm，其中，第一层和第二层是交替配置的；(Cr<SUB>(1－a)</SUB>Al<SUB>a</SUB>)(C<SUB>(1－x)</SUB>N<SUB>x</SUB>)…(1a)；(Zr<SUB>(1－k)</SUB>Hf<SUB>k</SUB>)(C<SUB>(1－y)</SUB>N<SUB>y</SUB>)…(2a)；式中，每个下标表示下面规定的原子比。0.2≤a≤0.8；0.7≤x≤1；0≤k≤1；0.5≤y≤1；所述硬质保护膜具有杰出的高温特性。 | ||
| 申请公布号 | CN101003196A | 申请公布日期 | 2007.07.25 |
| 申请号 | CN200610132110.9 | 申请日期 | 2006.10.10 |
| 申请人 | 株式会社神户制钢所 | 发明人 | 山本兼司 |
| 分类号 | B32B33/00(2006.01);B32B9/00(2006.01);C23C14/06(2006.01) | 主分类号 | B32B33/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 陈平 |
| 主权项 | 1.一种硬质保护膜，由多个层构成，其特征在于，包括：多于1层的第一层，所述第一层具有下式(1a)表示的组成并且其厚度为1至80nm；以及多于1层的第二层，所述第二层具有下式(2a)表示的组成并且其厚度为1至80nm，其中，第一层和第二层是交替配置的；(Cr(1-a)Ala)(C(1-x)Nx) ...(1a)(Zr(1-k)Hfk)(C(1-y)Ny) ...(2a)式中，每个下标表示下面规定的原子比，0.2≤a≤0.80.7≤x≤10≤k≤10.5≤y≤1。 | ||
| 地址 | 日本兵库县 | ||