用于使工件往复经过离子束的方法

摘要

提供了一种用于交互传送扫描臂上的工件通过离子束的方法，其中扫描臂可操作为耦合到包括可绕第一轴独立旋转的转子和定子的马达。施加在转子和定子之间的电磁作用力绕第一轴旋转转子并且沿第一扫描路径平移工件通过离子束。感应工件的位置并且控制转子和定子之间的电磁作用力以便反转工件沿第一扫描路径的动作方向，并且其中该控制至少部分基于所感应的工件位置。定子进一步反作用于转子的旋转绕第一轴旋转，特别是在工件的动作方向的反转室，因而作为转子、扫描臂和工件中的一个或多个的旋转的反作用质量。

主权项

1.一种用于交互传送工件的方法，所述方法包括以下步骤：将所述工件设置在扫描臂上，其中所述扫描臂可操作性耦合到包括转子和定子的马达，并且其中所述转子和所述定子可操作为绕第一轴独立旋转并且反向旋转；在所述转子和所述定子之间产生电磁作用力以便引起所述转子的旋转，其中所述转子的旋转进一步引起所述定子的旋转，并且其中所述转子的旋转进一步平移所述扫描臂以使所述工件沿第一扫描路径行进通过所述离子束；以及控制在所述转子和所述定子之间产生的电磁作用力以便选择性反转所述转子的旋转并由此沿所述第一扫描路径往复传送所述工件，其中所述定子反作用于所述工件的往复传送而绕所述第一轴旋转以及反向旋转。