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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR POLISHING SEMICONDUCTOR WAFERS USING ONE OR MORE PIVOTABLE LOAD-AND-UNLOAD CUPS
摘要
申请公布号 EP1594653(A4) 申请公布日期 2007.07.25
申请号 EP20040705594 申请日期 2004.01.27
申请人 INOPLA, INC. 发明人 INOPLA, INC.
分类号 B24B37/04;B24B41/00;H01L21/677;(IPC1-7):B24B1/00;B24B29/00 主分类号 B24B37/04
代理机构 代理人
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