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发明名称
摘要
申请公布号 JP3949232(B2) 申请公布日期 2007.07.25
申请号 JP19970184044 申请日期 1997.07.09
申请人 发明人
分类号 C23C16/44;H01L21/3065;C23C16/455;C23C16/50;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/302 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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