光学扫描设备

摘要

一种光学扫描设备，用于扫描记录载体(22)，该记录载体具有外表面(24)，且光学扫描设备包括：辐射源系统(2)，被设置用于产生射束；具有出射面(76)的物镜系统(20)，被设置在辐射源系统与记录载体之间且提供在物镜系统的出射面与记录载体的外表面之间的间隙中射线的消散波耦合；辐射探测器装置，用于检测与记录载体相互作用后的射线。辐射探测器装置被设置来产生代表物镜系统的出射面与记录载体的外表面之间的倾斜未对准的倾斜误差信号(α，β)。辐射探测器装置被设置通过检测表示在出射面的消散波耦合的有效性方面变化的射线中的信息来产生倾斜误差信号。

主权项

1.一种光学扫描设备，用于扫描记录载体(22)，该记录载体具有外表面(24)，其中所述光学扫描设备包括：a)辐射源系统(2)，其被设置成用于产生射束；b)物镜系统(20)，其具有出射面(76)，该物镜系统被设置在所述辐射源系统与所述记录载体之间并且提供在物镜系统的出射面与记录载体的外表面之间的间隙中射线的消散波耦合；以及c)辐射探测器装置，用于检测与记录载体相互作用后的射线，其特征在于辐射探测器装置被设置成产生代表物镜系统的出射面与记录载体的外表面之间的倾斜未对准的倾斜误差信号(α，β)，其中辐射探测器装置被设置成通过检测在射线中的信息来产生所述倾斜误差信号，该射线中的信息表示在所述出射面上所述消散波耦合有效性的变化。