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发明名称 ZOOM ILLUMINATION SYSTEM FOR USE IN PHOTOLITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 EP1256033(B1) 申请公布日期 2007.07.25
申请号 EP20000911830 申请日期 2000.02.16
申请人 ASML HOLDING N.V. 发明人 HOFFMAN, JEFFREY, M.;KUNICK, JOSEPH, M.;OSKOTSKY, MARK;RYZHIKOV, LEV
分类号 G03F7/20;G02B3/00;G02B7/10;G02B27/00;G02B27/18;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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