| 发明名称 |
一种用于平板显示器中制备ITO透明电极的刻蚀液 |
| 摘要 |
本发明提供一种用于平板显示器中制备ITO透明电极的刻蚀液，它包含盐酸HCl和水，其特征是它还包含一定量的抑制剂和氧化剂，且它们之间按如下比例(重量比)配制：HCl∶H<SUB>2</SUB>O∶抑制剂∶氧化剂＝7∶1.7∶1.0～1.7∶0.09～0.12本发明由于在刻蚀液中加入一定的抑制剂和氧化剂，使得刻蚀液可以在常温下刻蚀ITO膜，且刻蚀后的ITO电极钻蚀较小，边缘平滑整齐，同时不影响汇流电极中的金属电极，从而大大提高汇流电极的发射能力，提高平板显示器的显象质量。此外，本发明在刻蚀过程中由于受抑制剂的作用，盐酸溶液不易挥发，从而使环境不受污染。 |
| 申请公布号 |
CN101003736A |
申请公布日期 |
2007.07.25 |
| 申请号 |
CN200610005365.9 |
申请日期 |
2006.01.17 |
| 申请人 |
厦门火炬福大显示技术有限公司;福州大学 |
发明人 |
郭太良;张永爱;雷晓阳 |
| 分类号 |
C09K13/04(2006.01);C23F1/16(2006.01);H01J9/02(2006.01) |
主分类号 |
C09K13/04(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1、一种用于平板显示器中制备ITO透明电极的刻蚀液，它包含盐酸HCl和水，其特征是它还包含一定量的抑制剂和氧化剂，且它们之间按如下比例(重量比)配制：HCl∶H2O∶抑制剂∶氧化剂＝7∶1.7∶1.0～1.7∶0.09～0.12。 |
| 地址 |
361006福建省厦门市厦门火炬开发区火炬大厦南五楼 |
