多喷头模组与涂布制程

摘要

一种多喷头模组，其适于将一液体喷涂于一基板上。此多喷头模组包括多个喷头、多个致动器、一第一控制器、一第二控制器与一控制接口，其中这些喷头沿着一轴线配置，且这些喷头适于将液体喷涂于基板上。这些致动器分别与这些喷头连接，且各致动器适于带动相对应的喷头沿着轴线移动，以改变各喷头间的间距。第一控制器与这些喷头电性连接，以控制各喷头的运作。第二控制器与这些致动器电性连接，以控制各致动器的运作。控制接口电性连接至第一控制器与第二控制器，以控制第一控制器与第二控制器的运作。由于喷头间的间距可以改变，因此此多喷头模组能用于各种尺寸的基板上。

主权项

1.一种多喷头模组，适于将一液体喷涂于一基板上，其特征在于，该多喷头模组包括：多数个喷头，沿着一轴线配置，且该些喷头适于将该液体喷涂于该基板上；多数个致动器，分别与该些喷头连接，且各该致动器适于带动相对应的该喷头沿着该轴线移动，以改变各该喷头间的间距；一第一控制器，与该些喷头电性连接，以控制各该喷头的运作；一第二控制器，与该些致动器电性连接，以控制各该致动器的运作；以及一控制接口，电性连接至该第一控制器与该第二控制器，以控制该第一控制器与该第二控制器的运作。