| 发明名称 |
FLUID-COOLED CHUCK WITH A FREEZE-THROUGH SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3531260(A) |
申请公布日期 |
1970.09.29 |
| 申请号 |
USD3531260 |
申请日期 |
1967.07.28 |
| 申请人 |
WESTERN ELECTRIC CO. INC. |
发明人 |
WALTER H. DIEHL;ADOLPH K. LAGARDE JR. |
| 分类号 |
C30B13/32;(IPC1-7):B01J17/10;G08B21/00;H01H36/00 |
主分类号 |
C30B13/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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