| 发明名称 |
Drying processing method and apparatus using same |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0878832(B1) |
申请公布日期 |
2007.07.25 |
| 申请号 |
EP19980108926 |
申请日期 |
1998.05.15 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LIMITED |
发明人 |
KOMINO, MITSUAKI;UCHISAWA, OSAMU |
| 分类号 |
H01L21/08;H01L21/00;H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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