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发明名称 MEMS SWITCHES WITH DEFORMING MEMBRANES
摘要
申请公布号 EP1809568(A2) 申请公布日期 2007.07.25
申请号 EP20050798437 申请日期 2005.09.14
申请人 IDC, LLC 发明人 CHUI, CLARENCE;KOTHARI, MANISH
分类号 B81B3/00;H01H59/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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