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发明名称 SPIN-COATING DEVICE AND METHOD OF PRODUCING DISK-LIKE RECORDING MEDIUM
摘要
申请公布号 EP1553580(A4) 申请公布日期 2007.07.25
申请号 EP20030764143 申请日期 2003.07.09
申请人 TDK CORPORATION 发明人 YAMAGUCHI, HARUHIKO;YODOKAWA, YOSHIMI;USAMI, MAMORU;USHIDA, TOMOKI;IDEZAWA, SEIICHI
分类号 G03F7/16;B05B15/04;B05C11/08;B05C11/10;B05D1/00;B05D1/32;B05D1/40;B05D3/10;B05D7/00;G11B7/26;(IPC1-7):G11B7/26 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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