| 发明名称 | 具有宏观检测的显影装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种具有宏观检测的显影装置，本发明的显影装置包括一宏观检测装置及一显影装置，该宏观检测装置与该显影装置相连接，并设置于该显影装置之前，该宏观检测装置先检测已涂布光致抗蚀剂的一基板，检测员观测该基板是否产生缺陷，若发现该基板产生缺陷时，则将该基板回收报废或重新涂布光致抗蚀剂，这样可减少测试新制造过程及新光致抗蚀剂时间的浪费，并且可以在显影前提前观察到基板质量是否异常，以降低产品报废率，进而降低成本并提高生产量。 | ||
| 申请公布号 | CN101004557A | 申请公布日期 | 2007.07.25 |
| 申请号 | CN200710003786.2 | 申请日期 | 2007.01.24 |
| 申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 黄胜凯;徐书扬;柯宗志;杨志清 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01);G03F7/16(2006.01);G03F7/26(2006.01);G01M11/02(2006.01) | 主分类号 | G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 潘培坤 |
| 主权项 | 1.一种具有宏观检测的显影装置，其包括：一宏观检测装置，其用于检测已涂布光致抗蚀剂的一基板是否产生缺陷；及一显影装置，其与该宏观检测装置相连接，以对未产生缺陷的该基板进行显影。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹市 | ||