用于带电粒子束系统的基板处理设备

摘要

一种用于带电粒子束系统(电子束光刻系统)的基板处理设备，包括通过闸阀(7)连接的主腔室(4)和交换腔室(5)。机械手(15)用来在盒子(10)和激光干涉仪镜组件(13)之间传递载有半导体晶片的夹盘(8)。该机械手包括杆条(17)和侧部部件(18)，该侧部部件从杆条沿侧向伸出，用于支承该夹盘。

主权项

1.一种带电粒子束系统，包括主腔室、交换腔室和基板处理设备，该基板处理设备安装在主腔室内部，用于将基板装载至主腔室内和将基板卸载出该主腔室，该设备包括杆条和侧部部件，该侧部部件从该杆条沿侧向伸出，用于将该基板支承在该杆条的一侧；该设备还包括用于使杆条沿其纵向轴线平移的装置，该装置构造成使得该侧部部件可移动进入和离开该交换腔室。