发明名称 METHOD FOR SILICON SINGLE CRYSTAL OF UNIFOR QUALITY BY CONTROLLING PULLING RATE
摘要
申请公布号 KR100742337(B1) 申请公布日期 2007.07.24
申请号 KR20050133518 申请日期 2005.12.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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