发明名称 METHOD OF FORMING SILICON THIN FILM AND SILICON THIN FILM SOLAR CELL
摘要
申请公布号 KR100741758(B1) 申请公布日期 2007.07.23
申请号 KR20027013761 申请日期 2002.10.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址