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发明名称
METHOD OF FORMING SILICON THIN FILM AND SILICON THIN FILM SOLAR CELL
摘要
申请公布号
KR100741758(B1)
申请公布日期
2007.07.23
申请号
KR20027013761
申请日期
2002.10.14
申请人
发明人
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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