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发明名称 PROCEDE DE TRAITEMENT D'UNE SURFACE DE PLAQUETTE
摘要
申请公布号 FR2880186(B1) 申请公布日期 2007.07.20
申请号 FR20040013930 申请日期 2004.12.24
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES SOCIETE ANONYME 发明人 DELPRAT DANIEL;MALEVILLE CHRISTOPHE
分类号 H01L21/306;H01L21/762 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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