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发明名称 SUBSTRATE CONVEYING DEVICE
摘要
申请公布号 KR100741153(B1) 申请公布日期 2007.07.20
申请号 KR20000038987 申请日期 2000.07.07
申请人 发明人
分类号 G02F1/13;B65G65/02;H01L21/00 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
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