发明名称 Laserstrahlbearbeitungsmaschine
摘要 Eine Laserstrahlbearbeitungsmaschine, umfassend einen Einspanntisch zum Halten eines Werkstücks, Laserstrahlaufbringmittel zum Aufbringen eines Laserstrahls auf das Werkstück, das auf dem Einspanntisch gehalten ist, Bearbeitungszufuhrmittel zum Bewegen des Einspanntischs und der Laserstrahlaufbringmittel relativ zueinander in einer Bearbeitungszufuhrrichtung (X-Achsen-Richtung) und schrittweise bzw. Indexier-Zufuhrmittel zum Bewegen des Einspanntischs und der Laserstrahlaufbringmittel relativ zueinander in einer schrittweisen Zufuhrrichtung (Y-Achsen-Richtung) senkrecht zu der Bearbeitungszufuhrrichtung (X-Achsen-Richtung), wobei die Laserstrahlaufbringmittel Laseroszillationsmittel zum Oszillieren eines Laserstrahls, erste akusto-optische Ablenkmittel zum Ablenken der optischen Achse eines Laserstrahls, der durch die Laserstrahloszillationsmittel oszilliert ist, in der Bearbeitungszufuhrrichtung (X-Achsen-Richtung) und zweite akusto-optische Ablenkmittel zum Ablenken der optischen Achse eines Laserstrahls, der durch die Laserstrahloszillationsmittel oszilliert ist, in der schrittweisen Zufuhrrichtung (Y-Achsen-Richtung) ...
申请公布号 DE102006058536(A1) 申请公布日期 2007.07.19
申请号 DE20061058536 申请日期 2006.12.12
申请人 DISCO CORP. 发明人 NOMARU, KEIJI;KANEUCHI, YASUOMI;MORIKAZU, HIROSHI
分类号 B23K26/08;B23K26/40;H01L21/301 主分类号 B23K26/08
代理机构 代理人
主权项
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