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<p>Abtastsystem zum Abtasten der Oberfläche (13, 14) eines Objektes, insbesondere für eine Koordinaten-Meßmaschine. Ein Abtastsensor (1) schließt mindestens ein fluidgelagertes Lichttransportmodul (2) ein, wobei sich zwischen dem Lichttransportmodul (2) und dem Lagerteil (3) in einem Lagerspalt (7) ein Fluid befindet, mittels dessen das Lichttransportmodul (2) so gelagert ist, daß es hinsichtlich der Achse der zylindrischen Außenwand sowohl axial als auch rotierend beweglich ist. Durch den Innenraum (8) des Lichttransportmoduls (2) wird von einer Lichtquelle ausgehendes Primärlicht zu einer in axialer Richtung entfernten Primärlicht-Austrittsstelle (12a, 12b) transportiert, von der es in Richtung auf die Objektoberfläche (13,14) abgestrahlt wird. Durch den Innenraum (8) des Lichttransportmoduls (2) wird auch von der Objektoberfläche (13, 14) reflektiertes Sekundärlicht zu einer in axialer Richtung von der Sekundärlicht-Eintrittsstelle (16a, 16b) entfernten Sekundärlicht-Austrittsstelle (17) transportiert. Das Lichttransportmodul ist mittels eines Rotations-Translations-Antriebs (27) sowohl in axialer Richtung als auch rotierend antreibbar.</p> |
