EVAPORATOR MEMBER AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF

摘要

Verdampferkörper und Verfahren zum Bereitstellen eines Verdampferkörpers für den Betrieb in einer PVD-Metallisierungsanlage, mit einem Verdampferkörper-Außenteil 3, das aus einem warmgesinterten keramischen, elektrisch isolierendem Material ist und das einen durchgehenden inneren Hohlraum 7 mit einer Begrenzungswand hat, auf deren Außenseite eine Abdampffläche 9 ausgebildet ist, von welcher aus ein darauf zugeführtes Metall verdampfbar ist, und auf deren Innenseite eine der Abdampffläche 9 gegenüberliegende Wärmeaufnahmefläche 13 ausgebildet ist, und mit einem als Plattenkörper ausgebildeten Verdampferkörper-Kernteil 5, das in dem inneren Hohlraum 7 mit Spiel aufgenommen ist und sich durch den Hohlraum 7 hindurch erstreckt, und das aus einem im wesentlichen elektrisch leitfähigen Material ist, so dass es elektrisch widerstandsheizbar ist, um den Verdampferkörper 1 auf seine Betriebstemperatur aufzuheizen, wobei das Verdampferkörper-Kernteil 5 einen größeren Wärmeausdehnungskoeffizienten hat als das Verdampferkörper-Außenteil 3, wobei das Verdampferkörper-Kernteil 5 bei Betriebstemperatur des Verdampferkörpers 1 an der Wärmeaufnahmefläche des Verdampferkörper-Außenteils 3 ohne Spiel plan anliegt.