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发明名称
摘要
申请公布号	JP2007519831(A)	申请公布日期	2007.07.19
申请号	JP20060551446	申请日期	2005.01.26
申请人		发明人
分类号	C23C18/31;C23C18/16;H01L21/00;H01L21/288;H01L21/687	主分类号	C23C18/31
代理机构		代理人
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