| 摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Untersuchung des Abbildungsverhaltens einer ersten Abbildungsoptik, bei dem ein Objekt durch eine zweite Abbildungsoptik in eine Bildebene abgebildet wird und Licht in der Bildebene ortsaufgelöst detektiert wird, wobei sich beide Abbildungsoptiken in mindestens einer Abbildungseigenschaft unterscheiden. Es werden Werte für die Intensität und für mindestens eine zweite Eigenschaft des Lichts bestimmt, in Bildpunkten gespeichert und in einem Emulationsschritt verarbeitet, und es wird ein Emulationsbild erzeugt, welches eine Abbildung des Objektes mit der ersten Abbildungsoptik unter Berücksichtigung des Einflusses der zweiten Eigenschaft emuliert. Dabei wird eine Serie von Bildern erzeugt, indem ein Wertebereich der zweiten Eigenschaft in Teilbereiche zerlegt, jedem Teilbereich ein Bild zugeordnet, und den Bildpunkten jedes Bildes der entsprechende Intensitätswert zugeordnet wird, falls der dem Bildpunkt zugeordnete Wert der zweiten Eigenschaft in den dem jeweiligen Bild zugeordneten Teilbereich fällt. Andernfalls wird ihm ein vorgegebener Intensitätswert zugeordnet. Die Serie von Bildern wird im Emulationsschritt in eine Serie von Zwischenbildern umgewandelt. Für jedes Zwischenbild geht ein konstanter Wert der zweiten Eigenschaf in die Emulation ein, der aus dem jeweiligen Teilbereich stammt und sich von den Werten der zweiten Eigenschaft für die anderen Zwischenbilder unterscheidet. Dann werden di Zwischenbilde zum Emulationsbild kombiniert.</p> |
