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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Prüfen einer Halbleitervorrichtung
摘要
申请公布号 DE10296952(B4) 申请公布日期 2007.07.19
申请号 DE20021096952 申请日期 2002.06.13
申请人 ADVANTEST CORP. 发明人 DOI, MASARU;MIURA, TAKEO
分类号 G01M99/00;G01R31/3193;G01R31/02;G01R31/317;G01R31/3177;G01R31/3183;G11C29/56 主分类号 G01M99/00
代理机构 代理人
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