研磨垫用工具修整构件及研磨垫的工具修整方法

摘要

本发明系提供：可以效率良好且有效果地修整贴合有复数片小的研磨垫所构成的研磨垫之工具修整构件及研磨垫的工具修整方法。工具修整构件的基板系矩形，电沈积钻石磨粒所形成的磨粒固定部，系于基板的对角线上，以朝向基板的中心变细之方式而被形成。藉由一面使工具修整构件与研磨垫相对地旋转并公转，同时藉由一面将工具修整构件按压于研磨垫，使研磨垫与磨粒固定部的接触时间，在研磨垫的整面成为相等，所以可以均匀地研削研磨垫的整面。