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发明名称
一种切割基板之方法及使用该方法之装置
摘要
本发明系为一种切割基板之方法及使用该方法之装置,用以将一透明基板分割成复数个单元,该透明基板系包含一第一面及一第二面,其步骤系包含:提供该透明基板;将一胶带黏贴于该透明基板之该第一面;提供一光束,并藉由该光束对该透明基板之第二面进行切割,进而使该透明基板分割成复数个单元;藉由一光源照射该胶带,使该胶带与该复数个单元之间失去黏性;以及藉由至少一顶针将该胶带与该复数个单元分离。
申请公布号
TW200727399
申请公布日期
2007.07.16
申请号
TW095100944
申请日期
2006.01.10
申请人
国立联合大学;龚吉和;杨希文
发明人
龚吉和;杨希文;陈永逸
分类号
H01L21/78(2006.01)
主分类号
H01L21/78(2006.01)
代理机构
代理人
主权项
地址
苗栗县苗栗市恭敬里联大1号
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