适用于设计新制程技术之内连线设计方法与内连线

摘要

一种积体电路之内连线的设计方法，其中积体电路具有两不同层，其上分别设有一第一导体以及一第二导体。该内连线系设于第一导体与第二导体之间。当由一参考制程技术缩小到一预定制程技术时，该方法包含有，根据该预定制程技术选择一组设计规则；根据该设计规则决定一内连线的一长方形截面的一第一侧的长度以及一缩小规则，该缩小规则供由该参考制程技术缩小该长度到该预定制程技术；以及决定该内连线长方形截面的一第二侧的长度，供补偿因由该参考制程技术缩小到预定制程技术时，该内连线所增加的电阻。