发明名称 | 一种表面轮廓检测装置及检测方法 | ||
摘要 | 本发明公开一种表面轮廓检测装置,包括第一感测器,第二感测器,及一个数控系统,其中该两个感测器之中心轴沿探测方向延长线之间之夹角小于等于90°;该数控系统分别与该第一感测器及第二感测器相连,并用于控制该第一感测器与第二感测器做检测及处理检测讯号。另外本发明还公开一种表面轮廓检测方法。上述表面轮廓检测装置及检测方法具有易于检测面倾斜角较大之工件之优点。 | ||
申请公布号 | TW200726956 | 申请公布日期 | 2007.07.16 |
申请号 | TW095100581 | 申请日期 | 2006.01.06 |
申请人 | 鸿海精密工业股份有限公司 | 发明人 | 邱文赐 |
分类号 | G01B11/245(2006.01) | 主分类号 | G01B11/245(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 台北县土城市自由街2号 |