形成微透镜及半导体影像侦测元件的方法与半导体影像感测装置

摘要

本发明的实施例提供了一种形成微透镜的方法与半导体影像感测装置。首先，提供一基底，而基底具有至少一光感测元件。接着，于该基底上，形成一光敏层(photo-sensitive layer)。以一光罩进行第一次曝光。以该光罩进行第二次曝光。去除部分的该光敏层，以使存留的部份之该光敏层形成至少一微透镜。对该微透镜进行回流(reflow)。