发明名称 具有长闸极与高度密间距之场效电晶体(FET) FET DESIGN WITH LONG GATE AND DENSE PITCH
摘要 本发明揭露一互补金氧半导体场效电晶体(CMOS FET)设计配置及其制造方法,其提供一长闸极以及高度密间距(dense pitch),其中闸极接触被直接置于该闸极之顶部,而源极及汲极接触被制成位在该FET之RX(主动矽半导体)区外之具有接触垫的接触CA条。
申请公布号 TW200727476 申请公布日期 2007.07.16
申请号 TW095111835 申请日期 2006.04.03
申请人 万国商业机器公司 发明人 安德森布兰特A ANDERSON, BRENT A.;诺瓦克爱德华J NOWAK, EDWARD J.
分类号 H01L29/772(2006.01) 主分类号 H01L29/772(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财;李世章
主权项
地址 美国