发明名称 |
具有长闸极与高度密间距之场效电晶体(FET) FET DESIGN WITH LONG GATE AND DENSE PITCH |
摘要 |
本发明揭露一互补金氧半导体场效电晶体(CMOS FET)设计配置及其制造方法,其提供一长闸极以及高度密间距(dense pitch),其中闸极接触被直接置于该闸极之顶部,而源极及汲极接触被制成位在该FET之RX(主动矽半导体)区外之具有接触垫的接触CA条。 |
申请公布号 |
TW200727476 |
申请公布日期 |
2007.07.16 |
申请号 |
TW095111835 |
申请日期 |
2006.04.03 |
申请人 |
万国商业机器公司 |
发明人 |
安德森布兰特A ANDERSON, BRENT A.;诺瓦克爱德华J NOWAK, EDWARD J. |
分类号 |
H01L29/772(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/772(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财;李世章 |
主权项 |
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地址 |
美国 |