发明名称 横向双极性电晶体
摘要 本发明提供一种以CMOS为主的横向双极性电晶体及其制造方法。其系以一CMOS装置形成该以CMOS为主的横向双极性电晶体之基础。而系在一矽、SOI或SSOI基板上提供该CMOS装置,其包含一源极和汲极区、CMOS间隔物(9、10)及一遭移除的闸极电极。在该源极和汲极区中则配置一射极区(41)及一集极区(45),且于邻接射极区(41)及该集极区(45)处提供一基极区(43),其包含SiGe或p-型矽。该基极区(43)有一相对大的曝露区域,因其并不由该先前移除的闸极电极所覆盖。在该基极区(43)之曝露区域上提供一金属层(29)及一电接点(33),则可藉而降低基极电阻。
申请公布号 TW200727472 申请公布日期 2007.07.16
申请号 TW095112649 申请日期 2006.04.10
申请人 皇家飞利浦电子股份有限公司 发明人 飞利浦 米尼尔-贝拉德;雷蒙 乔瑟夫 安琪巴特 胡汀;ENGELBART;乔翰尼斯 约瑟夫斯 席尔夺斯 玛莉安纳斯 东克斯;DONKERS, JOHANNES JOSEPHUS THEODORUS MARINUS;伊尔文 西杰詹
分类号 H01L29/735(2006.01) 主分类号 H01L29/735(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 荷兰