发明名称 绝缘闸极型半导体装置及其制造方法
摘要 在知的构造中,源极区域与主体区域(背闸极区域)系接触共通的源极电极,无法个别控制源极区域与背闸极区域的电位。因此,将这种MOSFET用来作为双向切换元件的情形中,系将两个MOSFET串联连接,并藉由控制电路来执行MOSFET的导通/切断及寄生二极体的控制,而阻碍装置的小型化。本发明的解决手段系为设置接触源极区域的第1电极层及接触主体区域(背闸极)的第2电极层。第1电极层与第2电极层系为绝缘,并各自往与沟渠延伸方向之不同方向延伸。能个别施加电位至第1电极层及第2电极层,而可进行用以防止由寄生二极体所造成的逆流之控制。因此,能以一个MOSFET来实现双向切换元件。
申请公布号 TW200727471 申请公布日期 2007.07.16
申请号 TW095117597 申请日期 2006.05.18
申请人 三洋电机股份有限公司 发明人 石田裕康;万代忠男;牛田敦也;斋藤洋明
分类号 H01L29/73(2006.01) 主分类号 H01L29/73(2006.01)
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 日本