电浆处理装置之控制方法及电浆处理装置

摘要

提供一种控制方法用于控制气体供给顺序俾产生均匀之电浆。微波电浆处理装置100，使微波产生器28输出之微波介由多数多数导波管22，由狭缝天线23之狭缝传导至多数介电体组件，透过各介电体组件放射至处理容器10内。控制装置40对处理容器10内供给Ar气体之同时，使微波射入处理容器10内。藉由微波功率使Ar气体电浆点火之后，对对处理容器10内供给相较于Ar气体之电浆化需要更大能量之SiH4气体及NH3气体。如此则，微波电浆处理装置100可藉由射入处理容器10内之微波之功率使处理气体电浆化而稳定产生良质之SiN膜。