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发明名称
检查晶圆表面的装置及其方法
摘要
一种检查晶圆表面的装置及其方法,其中多个窄带光谱从晶圆的表面成像。
申请公布号
TW200726968
申请公布日期
2007.07.16
申请号
TW095122898
申请日期
2006.06.26
申请人
比斯泰克半导体系统股份有限公司
发明人
苏黎克 沃尔夫冈;海登 麦可
分类号
G01N21/25(2006.01);H01L21/66(2006.01)
主分类号
G01N21/25(2006.01)
代理机构
代理人
詹铭文;萧锡清
主权项
地址
德国
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