| 摘要 |
本发明揭露一种可以控制膜厚之建基于物理吸附的微接触印刷方法，主要应用于制造具有微米和次微米特征之有机薄膜图案。所提出之微接触印刷方法共包括上墨(inking)、印刷(printing)、与脱模(demolding)三个程序。与现有微接触印刷技术比较，本发明所揭露之方法共有两项创新：(1)提出了一项结合薄膜成长技术的上墨程序，藉由薄膜成长技术将一层具有使用者要求之厚度的有机薄膜成长于印模表面，以间接方式解决现有微接触印刷技术无法有效控制转印后薄膜图案之厚度的不足；(2)增加额外的脱模程序，藉由对转印之薄膜图案的温度与印模下压压力的适当控制，提供一项有效控制转印之薄膜图案品质的机制。 |
