正型光阻组成物及使用它图案制作方法

摘要

一种正型光阻组成物包括：(A)因酸之作用显示在硷显影剂中溶解度增加之树脂；(B)一种在以光谱射线或辐射照射时可产生酸之化合物；(C)一种具有指定结构之含矽重复单元且对酸安定但不溶于硷显影剂的树脂；及(D)一种溶剂；及一种使用它之图案制作方法。