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发明名称
用于启始抛光的金属阳离子
摘要
本发明提供一种用于平坦化或抛光金属表面之组合物及方法。该组合物包含研磨剂、铯离子及包含水之液体载剂。
申请公布号
TW200726833
申请公布日期
2007.07.16
申请号
TW095135654
申请日期
2006.09.26
申请人
卡博特微电子公司
发明人
菲利普 卡特;李守田
分类号
C09K3/14(2006.01);H01L21/304(2006.01)
主分类号
C09K3/14(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
美国
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