发明名称 |
包括部分旋转支撑件及定心销之弹性磁控管 |
摘要 |
一种磁控管扫描与支撑机构,其中磁控管(326)利用将多个弹簧(330)耦接至磁控管上不同水平位置的方式而部分撑托在悬挂之扫描机构的支撑板(268)上,且其下部分撑托在标靶上的滑座或滚珠(282)。在一实施例中,轭板为连续且均匀的。在另一实施例中,磁控管的磁性轭板分成二弹性轭板220、224,其例如具有互补的蜿蜒模型以支撑相应磁性的磁铁。在又一实施例中,标靶及磁控管为由其他结构隔开的条片标靶(262)及条片磁控管(264)。各条片磁控管部分撑托在共用扫描板和对应的条片标靶上。中心机构(350、358、362、368)可对准不同的条片磁控管。 |
申请公布号 |
TW200726853 |
申请公布日期 |
2007.07.16 |
申请号 |
TW095145056 |
申请日期 |
2006.12.04 |
申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
稻川诚;细川昭弘;雷函旻胡;拉维斯基伊利亚;怀特约翰M WHITE, JOHN M.;马丁达德W MARTIN, TODD;史汀森贝德利O STIMSON, BRADLEY O. |
分类号 |
C23C14/34(2006.01);C23C14/35(2006.01);C23C14/56(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财;李世章 |
主权项 |
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地址 |
美国 |