| 摘要 |
本发明有关一制造化学机械抛光垫之方法，该方法提供一充分地抑制该抛光表面上之刮痕的发生之化学机械抛光垫，且具有一优异之抛光速率。该方法包含一组步骤(A)及一组步骤(B)之任一个，该组步骤(A)包含：(A1)制备一用于形成化学机械抛光垫的成份之步骤；(A2)将用于形成一化学机械抛光垫的成份模制成一像垫片形式之步骤；(A3)将该像垫片形式安装在一切割机的圆形平台上之步骤，该切割机具有至少一配备有铣刀之铣切单元、一能够角度分度及定位之驱动器单元、及一藉着该驱动器单元以轴颈接合之圆形平台；(A4)以该铣刀形成该第二组沟槽之步骤；及(A5)形成该第一组沟槽之步骤，及该组步骤(B)包含：(B1)制备一用于形成化学机械抛光垫的成份之步骤；(B2)藉着使用金属模子将用于形成化学机械抛光垫的成份模制成一像垫片形式之步骤，该像垫片形式具有该第二组沟槽，该金属模子具有对应于该第二组沟槽之形状的突出部份；及(B3)形成该第一组沟槽之步骤。 |
