半导体液态材料之缓冲装瓶装置

摘要

一种缓冲装瓶装置包括：一缓冲槽，系含有一注入口用以注入一液态材料以及一连接管路用以馈送其内液态材料；至少一填装瓶，系用以呈接连接管路所馈送之液态材料；一液重感应装置，用以监测缓冲槽与填装瓶内液态材料之液重；以及一控制装置，用以接收来自液重感应装置所测得缓冲槽内液态材料之一第一液重讯号与所测得填装瓶内液态材料之一第二液重讯号进行液态材料之一注入控制与一馈送装瓶控制。可藉由结过滤器将过滤器、缓冲槽、外接管路及电子磅秤整合成一台自动化秤重装瓶设备，增加搅拌后液态材料过滤装瓶的便利性。