氧化物烧结体及其制造方法暨溅镀靶材及透明导电膜

摘要

本发明提供一种于作为溅镀靶材使用时，可获得从使用初期至末期为止皆稳定的溅镀放电，此外，可实现有机电激发光显示器及高精细液晶显示器等中所使用之Ra及Ry较小的透明导电膜之氧化物烧结体及其制造方法暨溅镀靶材及透明导电膜。本发明之氧化物烧结体系包含氧化铟且因应需要而包含氧化锡，并且包含氧化矽者，其相对密度为102％以上。